5
МАЙ 2009
Радиус кривизны кончика иглы (зонда) атомно-силового микроскопа
до заточки (100 нм) и после заточки (5-10 нм)
ной абляции (ЛА) для очистки полупроводнико-
вых пластин и другие установки.
Внутри всей системы поддерживается сверх-
высокий вакуум, а каждый модуль во избежание
взаимного загрязнения на время работы изоли-
руется от остальных. Образцы вначале помеща-
ются на транспортную платформу в загрузочной
камере. Затем около часа длится ее вакуумиро-
вание, после чего открывается заслонка и плат-
форма подается в транспортный узел. Там робот
разносит образцы по другим платформам, каж-
дая из которых отправляется в свой модуль для
обработки или исследования.
Соединяя транспортные узлы в цепочку,
можно наращивать число специализированных
модулей. Передача образцов по всей системе
автоматизирована и осуществляется с микрон-
ной точностью позиционирования. Последнее
очень важно, поскольку при низкой точности
транспортировки много времени уходило бы на
поиск крошечных наноструктур после доставки
в очередной модуль.
На сегодня «НТ-МДТ» установила в России
пять «Нанофабов». Один из них, недавно смонти-
рованный в Южном федеральном университете
(г. Таганрог), содержит два транспортных узла.
Наряду с научными исследованиями на этой уста-
новке ведется малосерийное производство арсе-
нид-галлиевых подложек для СВЧ-микросхем,
используемых в ракетно-космической отрасли.
Александр Сергеев
Еще изощреннее методы создания наноустройств. Нанометровые
элементы выжигаются сфокусированными пучками ионов и лазер-
ными лучами, выращиваются как кристаллы и тончайшие пленки.
Нередко д ля достижения нужного эффекта требуется выполнить
целую серию процедур, периодически контролируя состояние образ-
ца. Все это производится в условиях высочайшего вакуума, поскольку
любое загрязнение меняет параметры наноустройств, в которых на
счету буквально каждый атом.
Еще не так давно для каждого технологического процесса требо-
валась отдельная установка, а перенос образцов между ними был
крайне сложен, если вообще возможен. Компания «НТ-МДТ» из под-
московного Зеленограда решила эту проблему, разработав модульную
платформу «Нанофаб-100», которая позволяет собирать разнообраз-
ные установки для обработки отдельных образцов и даже для малосе-
рийного производства нанотехнологических изделий.
Ядро системы — транспортный узел-шлюз с роботом-раздатчиком.
С разных сторон к этому круглому агрегату присоединяются до шести
специализированных модулей. Среди них обязательно есть загрузоч-
ная камера и модуль сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ),
работающий в 40 режимах, включая атомно-силовой, сканирующий
туннельный и электростатический микроскопы. Дополнительно
можно установить модуль обработки фокусированными ионными
пучками (ФИП) для локального наращивания и резки наноструктур,
модуль молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) для получения гете-
роструктур на основе арсенидов и нитридов металлов, модуль лазер-
Параметры установки
Диаметр
до 100 мм
Масса образцов
до 150 г
Скорость транспортировки
250 мм/с
Точность позиционирования
500 нм
Вакуум
10-8 Па
ПО'13 бар)
Активная виброизоляция
1-200 Гц
Разрешение модуля СЗМ
0,1 нм
Фокусировка пучка в модуле
ФИП
10 нм
Прогрев:
в модуле ФИП
в модуле МЛЭ
до 150 °С
до 1100 °С
Габариты двухкластерного
«Нанофаба» ЮФУ
4,2 х 5,5 м
предыдущая страница 24 Что нового в науке и технике 2009 5 читать онлайн следующая страница 26 Что нового в науке и технике 2009 5 читать онлайн Домой Выключить/включить текст